[뉴스웍스=장진혁 기자] 일본이 수출규제 조치 이후 처음으로 불화수소(에칭가스) 수출을 허가한 것으로 알려졌다. 그동안 수출이 제한된 반도체·디스플레이 소재 3대 품목 가운데 포토레지스트(감광액) 수출은 일본이 두 차례 허가했지만, 불화수소는 이번이 처음이다.

지난 29일 산업통상자원부에 따르면 일본 경제산업성은 이날 불화수소 수출 1건을 승인했다. 허가를 받아 수출하는 기업은 일본 스텔라, 수입하는 기업은 삼성전자인 것으로 알려졌다.

불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재다. 불화수소는 반도체 기판으로 쓰이는 실리콘 웨이퍼에 있는 불필요한 회로를 벗겨내는 식각 공정과 불순물을 제거하는 세정 과정에 쓰인다. 일본의 불화수소는 불순물이 거의 없는 고순도(순도 99.999%)로 품질이 뛰어나다는 평가를 받는다.

불화수소는 일본 정부가 지난달 4일 한국에 수출 규제를 처음 시작한 3개 품목(불화수소·플루오린 폴리이미드·포토레지스트) 중 하나다. 앞서 일본 정부는 포토레지스트의 수출만 지난 7일과 19일 두 차례에 걸쳐 허가했다. 불화수소의 수출 허가는 이번이 처음이다.

산업통상자원부는 한국의 세계무역기구(WTO) 제소에 부담을 느낀 일본 정부가 불화수소의 수출을 허가한 것으로 짐작하고 있다.