[뉴스웍스=장진혁 기자] SK하이닉스가 일본의 수출규제 품목 중 하나인 액체 불화수소(식각액)의 국산화에 성공했다.

이달 초부터 국내 업체 제품을 일부 반도체 생산라인에 투입하고 있다.

액체 불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼를 깎고 불순물을 없애는 데 쓰이는 핵심 소재다.

SK하이닉스 관계자는 2일 “지난 1일부터 일부 생산라인에 일본산 액체 불화수소 대신 국산 제품을 투입하고 있다”고 밝혔다.

이 회사는 액체 불화수소를 램테크놀러지에서 공급받는 것으로 알려졌다.

램테크놀러지는 2001년 10월 설립된 반도체 공정용 화학소재 전문 기업이다.

중국산 원료를 수입해 재가공한 불화수소 제품과 자체 생산분 등을 모아 SK하이닉스에 납품하고 있다.

램테크놀러지의 액체 불화수소 공급 가능 물량은 연 7000t 수준으로 SK하이닉스 전체 수요량의 절반 정도다. 

SK하이닉스와 램테크놀러지는 지난해 말부터 액체 불화수소 생산을 함께 준비했고, 지난달 최종 품질 시험을 마친 것으로 알려졌다.

삼성전자도 지난달부터 일부 생산라인에서 국산 액체 불화수소를 사용하고 있다.

이 회사 관계자는 “상대적으로 ‘덜 민감한’ 생산 라인에서 일본 제품 대신 국내에서 생산한 액체 불화수소를 사용한다”고 말했다.

일본 정부는 대 한국 수출규제를 시작한 지난 7월 이후 기체 불화수소 수출은 세 건 승인했지만, 액체 제품 수출은 아직 한 건도 허용하지 않았다.

일본 정부가 액체 불화수소(식각액) 수출 승인을 차일피일 미루는 상황에서 ‘국산화’ 소식이 들려오자 국내 반도체업계에선 ‘한숨 돌렸다’는 반응이 나오고 있다. 

디스플레이업계에선 반도체업계보다 빠른 속도로 액체 불화수소 국산화가 이뤄지고 있다. 

LG디스플레이는 지난달 초 액체 불화수소 일부 국산화 소식을 알렸다.

이달엔 생산라인에 투입되는 액체 불화수소 100%를 국산화할 예정인 것으로 알려졌다.

삼성디스플레이도 최근 국산 액체 불화수소 테스트를 끝내고 조만간 생산라인에 투입할 예정이다.