LG디스플레이가 세계 최초로 초음파를 적용한 디스플레이 장비 개발에 성공했다.

그 동안 전량 수입에 의존해 왔던 에어 플로팅 코터를 대신해 이 장비를 8세대 제조 공정에 도입할 경우 37%의 비용 절감과 77%의 에너지 절감 효과를 거둘 것으로 기대된다.

LG디스플레이는 디스플레이 제조를 위한 TFT, 컬러 필터 공정에서 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각 과정을 위해 기판을 부상 반송하며 코팅하는 장비인 '초음파 플로팅 코터'를 개발했다고 8일 밝혔다.

사진식각은 디스플레이 제조 시 마스크에 필요한 패턴을 형성하기 위해 빛에 반응하는 감광성 고분자 물질인 PR(Photo Resist)을 얇게 바른 후 원하는 마스크 패턴을 올려놓고 빛을 가해 사진을 인화하는 것과 같은 방법으로 회로를 형성하는 작업을 말한다.

이 장비는 일정한 진폭과 주파수를 가진 진동 에너지로 미세한 간격을 유지하며 부상 반송하는 원리로 작동된다. 단순한 장비 구조로 유지·보수가 용이한 것은 물론 박형 기판을 보다 안전하게 부상할 수 있다는 장점이 있다.

LG디스플레이는 지난 2013년 신기술장비공모제도를 통해 협력사인 케이씨텍의 개발 제안을 접수했다. 양사 공동으로 약 1년 6개월의 연구 개발과 이후 6개월의 공정, 성능 평가 등을 거쳤다. 하반기부터 초음파 플로팅 코터를 도입해 LCD 생산 경쟁력을 증진할 예정이다.

정철동 LG디스플레이 생산최고책임자(CPO) 부사장은 "LG디스플레이는 국내 협력사들과 LCD의 장비 및 부품 국산화를 위한 공동기술 개발에 노력해 왔다"면서 "이번에도 세계 최초로 초음파 플로팅 코터 장비를 개발하는 성과를 이뤄냈다"고 말했다.